| 发明名称 | 用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、干涉仪热漂移系数的测量系统和干涉仪热漂移系数的测量方法，所述用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，包括：箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜，所述箱体上设置有视窗，所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内，所述微晶玻璃靠近所述视窗，所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端，所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合。达到了精确、方便地得到干涉仪热漂移系数η的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN102679865A | 申请公布日期 | 2012.09.19 |
| 申请号 | CN201110053279.6 | 申请日期 | 2011.03.07 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 王珍媛;张志平;吴萍;张晓文;池峰 |
| 分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，包括：箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜，所述箱体上设置有视窗，所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内，所述微晶玻璃靠近所述视窗，所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端，所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||