基于硅通孔技术的集成式微型压力流量传感器

摘要

一种基于硅通孔技术的集成式微型压力流量传感器，本发明由MEMS压力传感器、MEMS流量传感器、ASIC传感器信号调理芯片、互连通孔、凸点组成，MEMS流量传感器、MEMS压力传感器、ASIC传感器信号调理芯片按顺序依次垂直堆叠，通过互连通孔和凸点组成电气连接，ASIC传感器信号调理芯片对MEMS压力传感器和MEMS流量传感器进行信号调理。本发明的优点是采用硅通孔技术工艺显著地降低了传感器的封装尺寸，降低了封装成本，扩大了压力传感器和流量传感器的应用范围。

主权项

一种基于硅通孔技术的集成式微型压力流量传感器，主要包括：MEMS压力传感器、MEMS流量传感器、ASIC传感器信号调理芯片、TSV互连通孔、凸点、引压通孔，其特征在于所述MEMS流量传感器、MEMS压力传感器、ASIC传感器信号调理芯片按顺序依次垂直堆叠，通过TSV互连通孔和凸点组成电气连接。