电容式指纹集成电路的静电损害防护结构

摘要

一种电容式指纹集成电路的静电损害防护结构，包含：复数个感测板，形成感测板数组以界定一感测区域；一第一钝化层，覆盖在该感测板上；一图案化静电损害防护金属层，沉积在该第一钝化层上并且具有一鱼骨状结构；一共同导电层，连接至该鱼骨状结构且在该感测区域上方围绕，并用以将静电电荷传导至外界；一相关的信号处理电路，位于该感测板的下方，并且与该感测板电性连接；以及一第二钝化层，介设在该感测板与该信号处理电路之间。其中该鱼骨状结构包含脊部，该脊部具有肋部，在相邻的个别脊部的肋部末端之间存在有一间隙。

主权项

一种电容式指纹集成电路的静电损害防护结构，其特征在于，包含：复数个感测板，形成感测板数组以界定一感测区域；一第一钝化层，覆盖在该感测板上；一图案化静电损害防护金属层，沉积在该第一钝化层上并且具有一鱼骨状结构；一共同导电层，在该感测区域上方围绕，并用以将静电电荷传导至外界；一相关的信号处理电路，位于该感测板的下方，并且与该感测板电性连接；及一第二钝化层，介设在该感测板与该信号处理电路之间；其中该鱼骨状结构包含脊部，该脊部系在该感测板数组的一第一方向上与该感测板交替排列，该脊部系沿着一第二方向延伸，该第二方向系与该感测板数组的该第一方向垂直，并且该脊部的至少其中一端系连接至该共同导电层；该脊部具有肋部，该肋部系从该脊部的两侧沿着该第一方向延伸并且在该第二方向上与该感测板交替排列，该肋部的末端系形成一尖锐状端点，以及在相邻的个别脊部的肋部末端之间存在有一间隙。