用于在光伏模块衬底上薄膜层的高速沉积的系统和方法

摘要

本发明涉及用于在光伏模块衬底上薄膜层的高速沉积的系统和方法，具体而言，提供了用于将靶标源材料作为薄膜顺序溅射沉积在光伏模块衬底上的装置和方法。该装置包括第一溅射沉积室和第二溅射沉积室，它们一体地连接，使得被运送通过该装置的衬底被保持在小于大约760Torr的系统压力下。加载真空室连接到配置成将加载真空室内的压力降低到初始加载压力的加载真空泵上。第一溅射沉积室包括第一靶标，而第二溅射沉积室包括第二靶标。输送机系统可操作地设置在该装置内，并配置成以连续布置在受控的速度下将衬底运送进入并通过加载真空室，进入并通过第一溅射沉积室，且进入并通过第二溅射沉积室。

主权项

一种用于将靶标源材料(114)作为薄膜顺序溅射沉积在光伏模块衬底(12)上的装置(100)，所述装置(100)包括：加载真空室(106)，其连接到配置成将所述加载真空室(106)内的压力降低到初始加载压力的加载真空泵(108)上；第一溅射沉积室(112)，其包括第一靶标(114)；第二溅射沉积室(128)，其包括第二靶标(114)；以及输送机系统(162)，其可操作地设置在所述装置(100)内，并配置成用于按串联布置以受控的速度运送衬底(12)进入并通过加载真空室(106)、进入并通过所述第一溅射沉积室(112)、以及进入并通过所述第二溅射沉积室(128)，其中所述第一溅射沉积室(112)和所述第二溅射沉积室(128)一体地连接，使得被运送通过所述装置(100)的所述衬底(12)被保持在小于大约760Torr的系统压力下。