玻璃微粒堆叠体的制造方法

摘要

本发明提供一种玻璃微粒堆叠体的制造方法，其可以制造高品质的玻璃微粒堆叠体而不会产生裂纹或发生异物、气泡的残留。在玻璃微粒堆叠体的制造方法中，向反应容器内的标靶上喷射并堆叠通过喷管的火焰进行水解反应生成的玻璃微粒，在喷管的附近设置向反应容器内导入净化空气的净化空气导入口，并且在与净化空气导入口相反的一侧设置将反应容器16内的气体排出的排气口，在向标靶上堆叠玻璃微粒时，从净化空气导入口，向反应容器内供给温度大于或等于10℃而小于或等于40℃、湿度大于或等于30％而小于或等于70％、大于或等于0.3μm的浮尘的量小于或等于100个/CF的净化空气。

主权项

一种玻璃微粒堆叠体的制造方法，在该方法中，向反应容器内的标靶上喷射并堆叠通过喷管的火焰进行水解反应生成的玻璃微粒，该制造方法的特征在于，在所述喷管的附近，设置向所述反应容器内导入净化空气的净化空气导入口，并且在与所述净化空气导入口相反的一侧，设置将所述反应容器内的气体排出的排气口，在向所述标靶上堆叠所述玻璃微粒时，从所述净化空气导入口，向所述反应容器内供给温度大于或等于10℃而小于或等于40℃、湿度大于或等于30％而小于或等于70％、大于或等于0.3μm的浮尘的量小于或等于100个/CF的净化空气。