| 发明名称 | 光致抗蚀剂制造用组合物的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种光致抗蚀剂制造用溶剂组合物及其制造方法，在光致抗蚀剂的制造中，所述溶剂组合物对灵敏度高的肟酯类光聚合引发剂的溶解性良好，且不会损害电子材料用途的浆料组合物的特性。所述光致抗蚀剂制造用组合物的制造方法的特征在于，混合包含选自下述式(A1)、(A2)、(A3)、(A4)及(A5)所示的化合物中的至少一种化合物的溶剂A和肟酯类光聚合引发剂来制成溶剂组合物(C)后，将溶剂组合物(C)及与所述溶剂A相溶的溶剂B混合得到光致抗蚀剂制造用组合物(D)。[化学式1]<img file="dda0000141574300000011.GIF" wi="1817" he="1394" /> | ||
| 申请公布号 | CN102681340A | 申请公布日期 | 2012.09.19 |
| 申请号 | CN201210059273.4 | 申请日期 | 2012.03.08 |
| 申请人 | 株式会社大赛璐 | 发明人 | 铃木阳二;赤井泰之 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;C08F2/48(2006.01)N | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 张永新 |
| 主权项 | 1.一种光致抗蚀剂制造用组合物的制造方法，其特征在于，将包含选自下述式(A1)、(A2)、(A3)、(A4)及(A5)所示的化合物中的至少一种化合物的溶剂A和肟酯类光聚合引发剂混合来制成溶剂组合物(C)，然后将溶剂组合物(C)及与所述溶剂A相溶的溶剂B混合得到光致抗蚀剂制造用组合物(D)，<img file="FDA0000141574280000011.GIF" wi="1817" he="1395" />上述式中，R<sup>1</sup>～R<sup>4</sup>、R<sup>1</sup>’、R<sup>2</sup>’相同或不同，分别为C<sub>1-2</sub>的烷基，R<sup>1</sup>和R<sup>3</sup>、或R<sup>2</sup>和R<sup>4</sup>任选相互键合而分别形成环；R<sup>5</sup>和R<sup>6</sup>相互键合而形成4～8元环，环可以分支而具有侧链；R<sup>5</sup>’和R<sup>6</sup>’相互键合而形成3～7元环，环可以分支而具有侧链；R<sup>7</sup>和R<sup>8</sup>相互键合而形成3～7元环，环可以分支而具有侧链。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||