一种重复利用水资源的硅片清洗系统及其清洗槽

摘要

本实用新型提供了一种重复利用水资源的硅片清洗系统及其清洗槽，包括初洗槽和漂洗槽，还包括：用于连通初洗槽的进水口和漂洗槽的出水口的通道；用于将漂洗槽的液体流回初洗槽的液体回流装置，液体回流装置与通道相连。工作时，通过液体回流装置将漂洗槽的液体沿通道流回到初洗槽，这样就避免了将漂洗槽里的液体直接倒掉，使液体重复利用，减少了水资源的浪费，降低了污水处理带来的成本。

主权项

一种重复利用水资源的硅片清洗槽，包括初洗槽和漂洗槽，其特征在于，还包括：用于连通所述初洗槽的进水口和所述漂洗槽的出水口的通道；用于将漂洗槽的液体流回初洗槽的液体回流装置，所述液体回流装置与所述通道相连。