发明名称 |
圆筒磨削装置及磨削方法 |
摘要 |
一种圆筒磨削装置,用于磨削圆柱状晶棒的侧面,其特征在于:具备定心机构,其是由至少3个滚轮与用以支撑前述滚轮的臂所组成,使前述滚轮相对于前述晶棒从水平方向作进退移动而可作压接动作,并且,先将前述圆柱状晶棒直立置放在平台上,接着将前述已直立置放的晶棒,从前述平台移载至夹具上,然后利用一对夹具将前述晶棒两侧的端面保持在垂直方向,接着一边利用旋转机构来使前述晶棒绕轴旋转,一边使前述定心机构相对于前述晶棒从水平方向作进退移动,而使前述滚轮压接前述晶棒的侧面,由此,使前述旋转机构的旋转轴与前述晶棒的中心轴一致,之后利用研磨轮来磨削前述晶棒。由此,提供一种能提高晶棒的磨削加工效率的圆筒磨削装置及磨削方法。 |
申请公布号 |
CN101945732B |
申请公布日期 |
2012.09.19 |
申请号 |
CN200980104773.1 |
申请日期 |
2009.01.21 |
申请人 |
信越半导体股份有限公司 |
发明人 |
西野英彦;平野好宏 |
分类号 |
B24B41/06(2012.01)I;B24B5/04(2006.01)I;B28D5/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I |
主分类号 |
B24B41/06(2012.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
郭晓东;马少东 |
主权项 |
一种圆筒磨削装置,用于磨削圆柱状晶棒的侧面,其特征在于:至少具备:平台,其用以将前述圆柱状晶棒直立置放;一对夹具,其从垂直方向来保持前述晶棒两侧的端面;旋转机构,其用于驱动前述晶棒来使其绕轴旋转;及研磨轮,其可在前述旋转机构的旋转轴向移动;并且,具备定心机构,其是由至少3个滚轮与用以支撑前述滚轮的臂所组成,使前述滚轮相对于前述晶棒,从水平方向作进退移动,而可作压接动作,并且,先将前述圆柱状晶棒直立置放在前述平台上,接着将前述已直立置放的晶棒,从前述平台移载至前述夹具上,然后利用前述一对夹具,将前述晶棒两侧的端面,保持在垂直方向,接着一边利用前述旋转机构来使前述晶棒绕轴旋转,一边使前述定心机构相对于前述晶棒从水平方向作进退移动,而使前述滚轮压接前述晶棒的侧面,由此,使前述旋转机构的旋转轴与前述晶棒的中心轴一致,之后,利用前述研磨轮来磨削前述晶棒。 |
地址 |
日本东京都 |