基于面阵探测器的多通道低杂散光光谱仪

摘要

基于面阵探测器的多通道低杂散光光谱仪属于光谱分析仪器领域，该光谱仪包括光学平台和光信号采集处理装置两部分，其特征在于，光学平台采用多通道面阵探测器，在其中某一通道的窗口上，通过图形化镀膜的方法，加工形成沿光谱分布方向分布的若干个带阻滤光片，进行实时测量探测器各个区域所接收到的杂散光变化情况，利用此通道作为参考通道，实现对整个光谱分析仪杂散光的实时有效校正。本发明有效的校正了光谱分析系统全波段范围内的测量杂散光，可应用于待测样品光谱特征、吸光度值等各光色参数的测量方面。

主权项

基于面阵探测器的多通道低杂散光光谱仪，包括面阵探测器的驱动处理电路(7)、光学平台(8)和光信号采集处理装置(9)，光学平台(8)通过面阵探测器的驱动处理电路(7)与光信号采集处理装置(9)连接，光学平台(8)包括入射狭缝(1)、准直反射镜(2)、光学聚焦成像系统(3)、色散元件(4)和多通道面阵探测器(6)，被测光通过入射狭缝(1)入射到准直反射镜(2)上，经准直反射镜(2)准直后入射到色散元件(4)上，色散元件(4)对光束进行分光，并通过光学聚焦成像系统(3)把色散光谱的像投射到多通道面阵探测器(6)上；其特征在于，所述光学平台(8)还包括阵列式带阻滤光片窗口(5)，该阵列式带阻滤光片窗口(5)由沿光谱分布方向分布的多片带阻滤光片组成，所述多通道面阵探测器(6)被分为测量通道和参考通道，所述阵列式带阻滤光片窗口(5)设置在参考通道前面，所述光信号采集处理装置(9)把多通道面阵探测器(6)采集到的光信号进行信号处理，实现参考通道测得的杂散光对测量通道获得的信号进行补偿校正，进而校正了光谱仪全波段范围内的测量杂散光。