一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法

摘要

本发明公开了一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法，其中，薄膜晶体管包括基板、有源层、绝缘层、栅极、源极和漏极，有源层设于基板之上，源极设于有源层上侧之一端，漏极设于有源层上侧之另端，绝缘层设于有源层上侧之中部，栅极设于绝缘层之上；该有源层与源极之间设有金属化层，该有源层与漏极之间也设有金属化层；该有源层为复合膜层结构，从下而上依次为贫氧型金属氧化物膜层、富氧型金属氧化物膜层。本发明有源层由同一材料不同工艺制作成复合膜层，并在源/漏电极接触区通过金属化的方法，降低接触电阻；采用优化溅镀工艺制作绝缘层，避免等离子体损伤沟道有源层。通过退火处理，得到高性能的顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管。

主权项

一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管，包括基板、有源层、绝缘层、栅极、源极和漏极，有源层设于基板之上，源极设于有源层上侧之一端，漏极设于有源层上侧之另端，绝缘层设于有源层上侧之中部，栅极设于绝缘层之上；其特征在于：该有源层与源极之间设有金属化层，该有源层与漏极之间也设有金属化层；该有源层为复合膜层结构，从下而上依次为贫氧型金属氧化物膜层、富氧型金属氧化物膜层。