双面研磨装置

摘要

在双面研磨装置中，研磨液供给孔的一端部具有内径朝向研磨板的研磨面逐渐增大的内锥形面。在研磨布的覆盖研磨液供给孔的部分形成有对应于研磨液供给孔的研磨布孔。研磨布孔的边缘位于研磨液供给孔中。在一端部形成面对内锥形面的凸缘部的固定管道被固定在研磨液供给孔中。研磨布孔的边缘被夹持在研磨液供给孔的内锥形面和固定管道的凸缘部之间。

主权项

一种双面研磨装置，其包括：具有上研磨面的下研磨板，在所述上研磨面上附着研磨布；位于所述下研磨板上方并且能够上下运动的上研磨板，所述上研磨板具有下研磨面，在所述下研磨面上附着研磨布；设置在所述下研磨板和所述上研磨板之间的承载件，所述承载件具有用于保持工件的通孔；用于使所述下研磨板和所述上研磨板绕各自的轴线转动的板驱动单元；用于使所述承载件转动的承载件驱动单元；形成在所述上研磨板和所述下研磨板中的至少一方中的研磨液供给孔；以及与所述研磨液供给孔连接的研磨液供给管道，所述研磨液供给管道将来自研磨液供给源的研磨液通过所述研磨液供给孔供给到所述研磨布，其中，在将所述研磨液供给到所述研磨布的状态下，使所述下研磨板、所述上研磨板和所述承载件转动，以研磨夹在所述上研磨板和所述下研磨板之间的工件的两面，所述双面研磨装置的特征在于，在所述上研磨板和所述下研磨板中的至少一方的研磨面中开口的所述研磨液供给孔的一端部包括内径朝向所述研磨面逐渐增大的内锥形面，在所述研磨布中的覆盖所述研磨液供给孔的部分形成有对应于所述研磨液供给孔的研磨布孔，所述研磨布孔的边缘位于所述研磨液供给孔中，固定管道被固定在所述研磨液供给孔中，在所述固定管道的一端部形成面对所述内锥形面的凸缘部，以及所述研磨布孔的边缘被夹持在所述研磨液供给孔的所述内 锥形面和所述固定管道的所述凸缘部之间。