发明名称
摘要
申请公布号 JP5028217(B2) 申请公布日期 2012.09.19
申请号 JP20070280678 申请日期 2007.10.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01S5/022 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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