一种功率模块超声波检测装置

摘要

本实用新型提供一种功率模块超声波检测装置，所述的功率模块包括基板和半导体芯片，所述的基板具有用以承载半导体芯片的承载面以及与所述承载面相对的第一底面；所述的检测装置包括：具有超声波扫描探头的超声波扫描装置、以及用以容纳超声波扫描液体介质的液体介质存储槽，所述的液体介质存储槽的底面开设有可被所述第一底面覆盖的孔，所述孔的周围设有在外部压力下可与所述第一底面密封连接的密封圈。与现有技术相比，可避免检测时功率模块的半导体芯片与超声波扫描液体介质接触，从而避免了后续的清洗工序，提高了生产效率。

主权项

一种功率模块超声波检测装置，所述的功率模块包括基板和半导体芯片，所述的基板具有用以承载半导体芯片的承载面以及与所述承载面相对的第一底面；所述的检测装置包括：具有超声波扫描探头的超声波扫描装置、以及用以容纳超声波扫描液体介质的液体介质存储槽，其特征在于，所述的液体介质存储槽的底面开设有可被所述第一底面覆盖的孔，所述孔的周围设有在外部压力下可与所述第一底面密封连接的密封圈。