发明名称
摘要
申请公布号 JP5027417(B2) 申请公布日期 2012.09.19
申请号 JP20060002605 申请日期 2006.01.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L21/336;H01L27/108;H01L29/78 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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