发明名称 |
一种有机场效应晶体管结构及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种有机场效应晶体管结构,包括绝缘衬底、栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极,其中所述栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极均位于所述绝缘衬底之上,并处于同一平面。本发明同时公开了一种制备有机场效应晶体管结构的方法。利用本发明,栅电极、源电极、漏电极、栅介质层和有机半导体层处于同一平面,通过将电极设计到同一平面上,避免了高分辨率电极制备过程中对有机半导体的损伤,从而能有效提高器件的良率。 |
申请公布号 |
CN102683589A |
申请公布日期 |
2012.09.19 |
申请号 |
CN201110058194.7 |
申请日期 |
2011.03.10 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
商立伟;姬濯宇;其他发明人请求不公开姓名 |
分类号 |
H01L51/05(2006.01)I;H01L51/10(2006.01)I;H01L51/40(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/05(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
一种有机场效应晶体管结构,其特征在于,该结构包括绝缘衬底、栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极,其中所述栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极均位于所述绝缘衬底之上,并处于同一平面。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |