发明名称 一种有机场效应晶体管结构及其制备方法
摘要 本发明公开了一种有机场效应晶体管结构,包括绝缘衬底、栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极,其中所述栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极均位于所述绝缘衬底之上,并处于同一平面。本发明同时公开了一种制备有机场效应晶体管结构的方法。利用本发明,栅电极、源电极、漏电极、栅介质层和有机半导体层处于同一平面,通过将电极设计到同一平面上,避免了高分辨率电极制备过程中对有机半导体的损伤,从而能有效提高器件的良率。
申请公布号 CN102683589A 申请公布日期 2012.09.19
申请号 CN201110058194.7 申请日期 2011.03.10
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 商立伟;姬濯宇;其他发明人请求不公开姓名
分类号 H01L51/05(2006.01)I;H01L51/10(2006.01)I;H01L51/40(2006.01)I 主分类号 H01L51/05(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 周国城
主权项 一种有机场效应晶体管结构,其特征在于,该结构包括绝缘衬底、栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极,其中所述栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极均位于所述绝缘衬底之上,并处于同一平面。
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
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