基板处理装置

摘要

本发明涉及基板处理装置，在基板处理单元(11)和收纳器容置/搬运单元(7)间具有收纳器容置单元(9)，通过搬运机器手(19)在装载口(5)和保持架排列部(33)间搬运。通过搬运机器手(31)在保持架排列部(33)、保持架排列部(69)和载置部(27)间搬运。装载口(5)和保持架排列部(33)间的搬运与保持架排列部(69)、保持架排列部(33)和载置部(27)间的搬运能够大致并行地进行。因此，提高FOUP(3)的搬运效率，提高生产率。而且，在收纳器容置/搬运单元(7)和基板处理单元(11)间仅配置收纳器容置单元(9)，能够抑制装置尺寸增加，增加FOUP(3)的容置数量，能够实现装置的高生产率。

主权项

一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于，该基板处理装置包括：基板处理单元，用于对基板进行处理，收纳器容置单元，与所述基板处理单元接近排列地设置，用于对收纳基板的收纳器进行容置，收纳器容置/搬运单元，与所述收纳器容置单元接近排列地设置，用于对收纳基板的所述收纳器进行容置及搬运，第1载置部，与所述收纳器容置/搬运单元接近排列地设置，用于载置所述收纳器；所述收纳器容置单元具有多个第1保持架，该多个第1保持架用于保持所述收纳器；所述收纳器容置/搬运单元具有：多个第2保持架，用于保持所述收纳器，第2载置部，配置在所述基板处理单元和所述多个第2保持架之间，用于载置所述收纳器，第1搬运部，在所述第1载置部和所述多个第2保持架之间搬运所述收纳器，第2搬运部，在所述多个第1保持架、所述多个第2保持架和所述第2载置部之间搬运所述收纳器。