一种金属电沉积装置

摘要

本发明公开了一种金属电沉积装置，包括电沉积槽和电源，电沉积槽外侧设有在电沉积过程中向电解液施加平行或垂直于电场方向的超声波的电声换能器系统，在电沉积槽外侧还设置有用于在电沉积过程中向电解液施加平行或垂直于电解液中电场的磁场N极磁极和S极磁极，所述N极磁极和S极磁极相对应的分布在电沉积槽的两侧，由N极磁极和S极磁极施加在电解液中的磁场强度B为0.5～1.0T；在电沉积槽中还设有在电沉积过程中用于搅拌电解液的搅拌器和用于使电沉积槽中的电解液温度保持稳定的加热系统。在阴极上电沉积金属材料过程中，选择超声波的方向及功率与磁场的方向及强度进行协同耦合共同作用于电解液，以提高电沉积的速度和致密度。

主权项

一种金属电沉积装置，包括用于容纳电解液的电沉积槽和用于在电沉积过程中与电解液中的阳极及阴极对应电连接的电源，其特征在于：所述的电沉积槽外侧设有在电沉积过程中向电解液施加平行或垂直于电场方向的超声波的电声换能器系统，该电声换能器系统电连接有超声波发生器，电声换能器系统施加在电解液上的超声波频率为45kHz，超声波功率为120～300W；在电沉积槽外侧还设置有用于在电沉积过程中向电解液施加平行或垂直于电解液中电场的磁场N极磁极和S极磁极，所述N极磁极和S极磁极相对应的分布在电沉积槽的两侧，由N极磁极和S极磁极施加在电解液中的磁场强度B为0.5～1.0T；在电沉积槽中还设有在电沉积过程中用于搅拌电解液的搅拌器和用于使电沉积槽中的电解液温度保持稳定的加热系统。