装卸料机构、CVD设备和该CVD设备的控制方法

摘要

本发明提出一种装卸料机构、具有其的CVD设备及控制方法。该装卸料机构，包括：第一机架、第一托架、第一旋转机构、第二机架、第二托架、第二旋转机构和机械手搬运机构，机械手搬运机构用于将基片从位于第一工位的第一托架上的第一托盘上卸载或将基片装载到位于第一工位的第一托架上的第一托盘上，以及用于将基片从位于第二工位的所述第二托架上的第二托盘上卸载或将基片装载到位于第二工位的所述第二托架上的第二托盘上。本发明实施例的装卸料机构可以大大缩短每炉之间用于基片取放的时间，实现每炉之间不间断生产，从而提高了设备的利用效率。

主权项

一种装卸料机构，其特征在于，包括：第一机架，所述第一机架在第一工位与反应工位之间可移动；第一托架，所述第一托架上设有用于承载多个基片的多层第一托盘且所述第一托架可上下移动地设置在所述第一机架上；第二机架，所述第二机架在第二工位与所述反应工位之间可移动；第二托架，所述第二托架上设有用于承载多个基片的多层第二托盘且所述第二托架可上下移动地设置在所述第二机架上；和机械手搬运机构，用于将基片从位于第一工位的所述第一托架上的第一托盘上卸载或将基片装载到位于第一工位的所述第一托架上的第一托盘上，以及用于将基片从位于第二工位的所述第二托架上的第二托盘上卸载或将基片装载到位于第二工位的所述第二托架上的第二托盘上。