一种薄型真空密封连接阀装置

摘要

一种薄型真空密封连接阀装置，包括：中部带孔的底板、限位垫块、中部带孔的盖板、插板和连接板。底板安装于连接腔体，盖板的中部孔和底板的中部孔同轴安装，它们之间有限位垫块形成的密封滑道，密封滑道尺寸大于盖板和底板中心的孔径，插板与密封滑道紧密配合，可在连接板的控制下分别向内侧或外侧移动，实现连接腔体的真空密封和连通。本装置克服了现有插板阀在安装过程中的复杂性和同一腔体内不可安装的问题。此装置具有以下优点：装置体积小，厚度薄(最薄处达2厘米)，结构和安装简单，可在同一腔体内安装密封，可方便的连接分子/离子束准直装置。

主权项

薄型真空密封连接阀装置，其特征在于：包括：限位垫块(5)、插板(2)、连接板(4)、中部带孔的底板(1)和中部带孔的盖板(3)；底板(1)、插板(2)、盖板(3)依次叠合设置，在底板(1)和盖板(3)上的的中部孔位于插板(2)两侧相对应设置，底板(1)和盖板(3)上的孔通过插板(2)在底板(1)和盖板(3)间的相对滑动控制它们的连通或封闭；由于插板(2)在底板(1)和盖板(3)间的相对滑动于底板(1)和盖板(3)间上形成一滑道；于底板(1)和盖板(3)间滑道的外侧设有限位垫块(5)；限位垫块(5)的厚度与插板(2)的厚度相同；在底板(1)远离盖板(3)一侧的表面上、中部孔的四周设有环状密封圈；于插板(2)远离盖板(3)一侧的表面上设有环状密封圈；用于拖动插板(2)的连接板(4)固接于插板(2)的另一端。