特别是双层折叠磁控管的多磁控管的联动扫描

摘要

本发明公开了一种磁控管组件，其包括一个或多个磁控管(112)，每个磁控管在靶(124)的溅射表面上形成封闭的等离子体回路。该靶可包括多个条形靶，在该条形靶上，每个条形磁控管滚动(126)并通过弹簧机构(114)部分支撑在公共支撑板(32)上。该条形磁控管可以为双层折叠磁控管(200)，其中各磁控管形成折叠的等离子体回路，该回路在条形靶的水平侧之间延伸并且其端部在靶的中间会合(220)。形成磁控管的磁体可排列为具有通常均匀的直部分的图案，其中直部分通过弧形部分连接，在该弧形部分中在邻近拐角处有额外的磁体位置可用以调整等离子体轨迹。

主权项

一种联动磁控管，包括：支撑结构；由所述支撑结构通过各自的弹簧机构分开地、弹性地并部分地支撑并且在所述支撑结构的下方的多个磁控管，每一个所述磁控管包括：各自的磁体排列，所述各自的磁体排列具有在相反磁性的磁极之间形成的封闭路径，各自的磁板，所述各自的磁板与所述磁极磁性耦合并支撑所述各自的磁体排列，从而多个磁体排列可沿垂直方向单独移动，以及各自的滚动或滑动装置，所述各自的滚动或滑动装置在与所述支撑结构相对的所述各自磁板的侧上形成，以在靶组件上提供每一个所述磁控管的部分的支撑和水平扫描。