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发明名称 VACUUM-EVAPORATION SOURCE, AND ORGANIC EL ELEMENT MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101181680(B1) 申请公布日期 2012.09.19
申请号 KR20107009188 申请日期 2008.10.27
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/12;H01L21/203 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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