三波长衍射调制器及调制方法

摘要

本发明涉及一种三波长衍射调制器(TWDM)及三波长衍射调制方法。三波长衍射调制器包括：固定基板，顶部形成有底电极板；第一电极板，包括平行悬设于所述固定基板上方的第一悬梁及固定于所述固定基板上的第一连接部；第二电极板，包括平行悬设于所述第一电极板上方的第二悬梁及固定于所述固定基板上的第二连接部。本发明所述衍射调制器及衍射调制方法适用于投影系统。

主权项

一种三波长衍射调制器，其特征在于，包括：固定基板，该固定基板顶部形成有底电极板；第一电极板，包括平行悬设于所述固定基板上方的第一悬梁及固定于所述固定基板上的第一连接部；以及第二电极板，包括平行悬设于所述第一电极板上方的第二悬梁及固定于所述固定基板上的第二连接部，其中，所述第二电极板的第二悬梁包括第二反射层及第二介电层，所述第二反射层至少开有一个微孔；所述固定基板进一步包括设于其内部的驱动电路，该驱动电路用于分别向所述底电极板、所述第一电极板及所述第二电极板提供电荷，使所述第一悬梁与所述第二悬梁之间在不同时间段内分别保持松弛距离、拉近距离及拉分距离；所述拉近距离用于使穿过所述微孔的入射光中的第一波长的光形成衍射；所述松弛距离用于使入射光中的第二波长光形成衍射；所述拉分距离用于使入射光中的第三波长的光形成衍射。