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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SILICON NANOWIRES USING SILICON NANODOT THIN FILM
摘要
申请公布号 EP2036117(A4) 申请公布日期 2012.09.19
申请号 EP20060824015 申请日期 2006.12.08
申请人 ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 PARK, RAE-MAN;KIM, SANG-HYEOB;PARK, JONGHYURK;MAENG, SUNGLYUL
分类号 H01L21/20;C30B25/00;C30B29/06;C30B29/60;H01L21/02 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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