一种节能型多晶硅还原炉的内胆降膜结构及实施方法

摘要

本发明公开了一种节能型多晶硅还原炉的内胆降膜结构及其实施方法，内胆环管是半圆管，直接焊接到内胆内壁面，成一个封闭空腔，进料管与封闭空腔是连通的，喷管与封闭空腔是连通的；喷管另一头是呈扁平结构的，且喷管方向是与内胆内壁面切向平行；喷管有3~12个；液体三氯氢硅和四氯化硅的混合物经进料管打入封闭空腔内，再通过喷管喷到内胆内壁面上，喷到内胆内壁面上的液体在内胆内壁面上成液膜向下流动，最后气化成气体；节能型多晶硅还原炉利用高温硅棒的热辐射能气化液体三氯氢硅，降低了还原炉的总能耗，减少多晶硅还原炉钟罩冷却水的通入量；避免了内胆内壁面沉积多晶硅，保持内胆内壁面有较好的光洁度，降低还原炉的能耗。

主权项

一种节能型多晶硅还原炉的内胆降膜结构，包括内胆（1）、半环管（2）、封闭空腔（3）、进料管（4）和喷管（5），其特征是内胆环管是半圆管，直接焊接到内胆内壁面，成一个封闭空腔，进料管与封闭空腔是连通的，喷管与封闭空腔是连通的。