发明名称 具有内禀铁磁性的ZnO基稀磁半导体薄膜及其制备方法
摘要 本发明涉及一种具有内禀铁磁性的ZnO基稀磁半导体薄膜及其制备方法,所述具有内禀铁磁性的ZnO基稀磁半导体薄膜的成份符合化学式Zn1-x-yCrxGayO,其中0 ≤x≤0.03,0≤y≤0.03。掺杂Cr和/或镓的ZnO基稀磁半导体薄膜具有室温铁磁性,而且具有在较大范围内可调的电阻率,以及在较大范围内可调的电子浓度,可为自旋电子器件的研究和应用提供良好的材料。
申请公布号 CN102676994A 申请公布日期 2012.09.19
申请号 CN201210185344.5 申请日期 2012.06.07
申请人 上海硅酸盐研究所中试基地;中国科学院上海硅酸盐研究所 发明人 熊泽;刘学超;卓世异;孔海宽;杨建华;施尔畏
分类号 C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 主分类号 C23C14/08(2006.01)I
代理机构 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 代理人 曹芳玲;郑优丽
主权项 一种具有内禀铁磁性的ZnO基稀磁半导体薄膜,其成份符合化学式Zn1‑x‑yCrxGayO,其中0 ≤ x ≤ 0.03,0 ≤ y ≤ 0.03。
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