一种单镜头激光三角法厚度测量仪

摘要

本发明属于几何尺寸测量技术领域，为一种单镜头激光三角法厚度测量仪，包括激光器、孔径光阑、平面玻璃、组合镜头、图像探测器、图像处理器以及一些辅助精细调节装置。工作时，同轴对准的上下激光器发出两束准直光线，由激光器前端透镜聚焦到被测物表面，被测物表面的漫反射光线经过孔径光阑、平面玻璃后由组合成像透镜汇聚到图像探测器上，再将图像数据传输至图像处理器进行图像处理，进而由两光斑之间的间距计算得出被测物的实际厚度，最后显示测量厚度。本发明秉承激光三角测厚法优点的同时通过改进光路结构，优化设计，较好的消除了双光路激光三角法测厚仪受被测物振动影响上下独立测量系统难以同步，精度难以保证的问题。

主权项

一种单镜头激光三角法厚度测量仪，其特征在于，该测量仪包括第一、第二激光器，成像透镜，图像探测器，光阑，第一、第二平面玻璃，图像处理器，以及显示装置；第一、第二激光器的轴心线位于成像透镜的物方焦平面处，第一、第二激光器同轴对准，图像探测器位于成像透镜的像方焦平面处，用于接收成像透镜汇聚的光线；光阑位于第一、第二激光器的轴心线与成像透镜之间，第一、第二平面玻璃片位于孔径光阑和成像透镜之间，并相对成像透镜的光轴上下对称，且第一平面玻璃片与成像透镜的光轴之间的夹角，以及第二平面玻璃片与成像透镜的光轴之间的夹角均小于90度，图像处理器与图像探测器连接，用于处理图像探测器提供的数据，显示装置与图像处理器连接，用于显示图像处理器提供的数据。