| 发明名称 | 低温泵及真空排气方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种低温泵及真空排气方法。本发明的低温泵（10）具备：第1低温板，具备具有屏蔽件开口（20）的放射屏蔽件（18）和配置于屏蔽件开口（20）的百叶窗（23）；第2低温板（24），被第1低温板包围；及制冷机（14），将第1低温板冷却至第1冷却温度，并将第2低温板冷却至低于第1冷却温度的第2冷却温度。百叶窗（23）上形成有粗糙面（42）。 | ||
| 申请公布号 | CN102686880A | 申请公布日期 | 2012.09.19 |
| 申请号 | CN201080050597.0 | 申请日期 | 2010.02.16 |
| 申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 田中秀和 |
| 分类号 | F04B37/08(2006.01)I;F04B37/16(2006.01)I | 主分类号 | F04B37/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 胡建新 |
| 主权项 | 一种低温泵，其特征在于，具备：第1低温板，具备具有开口部的放射屏蔽件和配置于所述开口部的挡板；第2低温板，被所述第1低温板包围；及制冷机，将所述第1低温板冷却至第1冷却温度，并将所述第2低温板冷却至低于第1冷却温度的第2冷却温度，在所述挡板上形成有粗糙面。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||