准分子灯

摘要

本发明提供一种准分子灯，其紫外线反射膜构成为可透射红外光，减少放电容器与紫外线反射膜的温度差，防止紫外线反射膜剥落，可长时间地将准分子光的放射光量维持在预定范围。该准分子灯(10)具备：具有放电空间的二氧化硅破璃构成的放电容器(11)以及介设有形成放电容器(11)的二氧化硅玻璃的一对电极(12、13)，在放电空间(S)内封入有氙气体，在放电空间(S)内发生准分子放电，在曝露于准分子放电的上述放电容器(11)内表面上，形成由包含二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜(14)，以波长4560nm的光透射紫外线反射膜(14)及透射厚度为1mm的二氧化硅玻璃进行测定时的透射率为10％以上。

主权项

一种准分子灯，具备：具有放电空间的二氧化硅玻璃构成的放电容器；以及介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的一对电极，在上述放电空间内封入有氙气体，在上述放电空间内发生准分子放电，其特征在于：在曝露于准分子放电的上述放电容器内表面上，形成由包含二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜的膜厚y(μm)在将构成该紫外线反射膜的紫外线散射粒子的中心粒径设为x(μm)时，在x＜0.9，满足y≤‑210x+293的关系，在0.9≤x＜2.7，满足y≤‑34x+127的关系、在2.7≤x，满足y≤‑5.5x+49的关系。