发明名称 METHOD OF CLEANING OPTICAL SURFACES OF AN IRRADIATION UNIT IN A TWO-STEP PROCESS
摘要
申请公布号 EP1896904(B1) 申请公布日期 2012.09.19
申请号 EP20060756077 申请日期 2006.06.07
申请人 PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 DERRA, GUENTHER HANS;KRUECKEN, THOMAS;METZMACHER, CHRISTOF;WEBER, ACHIM;ZINK, PETER
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址