电介质层的预灾变、应力诱导漏电流情况的检测

摘要

本发明涉及电介质层的预灾变、应力诱导漏电流情况的检测。本发明公开的技术对电介质层施加应力直到检测到预灾变、应力诱导漏电流(SILC)情况。当检测到预灾变SILC情况时，应力被移除以防止电介质及其关联器件的灾变性故障。因为这些技术防止电介质层的灾变性故障，所以工程师可以进行器件的物理故障分析，现在由于预灾变SILC情况的检测而使器件已知具有某种类型的缺陷。这样，本发明公开的技术允许工程师更快地确定缺陷的根本原因，使得生产率可以保持在最佳水平。

主权项

一种方法，包括：将偏压施加到被测器件以从所述被测器件生成应力诱导漏电流SILC；分析所述SILC以识别预灾变SILC情况，预计在所述预灾变SILC情况之后所述被测器件的电介质灾变性地故障；在所述预灾变SILC情况已被识别之后移除所述偏压以防止所述电介质的灾变性故障。