| 发明名称 | 氧化锌层的制备和结构化方法以及氧化锌层 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于制备适于太阳能电池的ZnO接触层的方法。该层经氢氟酸蚀刻以产生纹理。 | ||
| 申请公布号 | CN102687287A | 申请公布日期 | 2012.09.19 |
| 申请号 | CN201080039156.0 | 申请日期 | 2010.08.07 |
| 申请人 | 于利奇研究中心有限公司 | 发明人 | E.邦特;J.奥文;J.许普克斯 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 石克虎;林森 |
| 主权项 | 用于制备氧化锌层的方法，其特征在于，该氧化锌层通过氢氟酸蚀刻。 | ||
| 地址 | 德国于利奇 | ||