| 发明名称 | 用于运行真空涂层设备的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于运行真空涂层设备、尤其是用于制造薄层太阳能电池的方法，其中，在使用清洁气体完成涂层腔室清洁步骤之后并且在产品制造步骤之前实施用于将扩散阻碍层涂布到涂层腔室的壁上的涂层分离步骤。 | ||
| 申请公布号 | CN102683481A | 申请公布日期 | 2012.09.19 |
| 申请号 | CN201210066428.7 | 申请日期 | 2012.03.14 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | C.瓦奇坦多夫 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 汲长志;杨国治 |
| 主权项 | 用于运行真空涂层设备、尤其是用于制造薄层太阳能电池的方法，其中，在使用清洁气体完成涂层腔室清洁步骤之后并且在产品制造步骤之前实施用于将扩散阻碍层（15）涂布到涂层腔室（11）的壁上的涂层分离步骤。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||