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一种极紫外光刻投影物镜的设计方法，其特征在于，具体步骤为：步骤101、确定光刻系统中投影物镜为六反射镜结构，并设定该投影物镜的光学系统参数；选取六枚反射镜和光阑设置于光刻系统中掩膜和硅片之间，六枚反射镜及光阑的设置位置：从掩膜开始沿光路方向依次为第一反射镜M1、光阑、第二反射镜M2、第三反射镜M3、第四反射镜M4、第五反射镜M5以及第六反射镜M6，且光阑放置于第二反射镜M2上；确定各反射镜之间的比例参数；步骤102、计算掩膜到第一反射镜M1的距离为‑l1和第二反射镜M2到第一反射镜M1的距离为‑d1，并获取第一反射镜M1的当前半径为r1；步骤103、给定物方数值孔径NAO和物方主光线入射角度CA，根据所述‑d1和r1，判断出步骤101中给定的光学系统参数是否合理，具体的判断过程为：步骤201、计算所述比例参数中第二反射镜M2到第一反射镜M1距离与掩膜到第一反射镜M1距离之比radio2的上限值Uradio2；Uradio2＝1‑FWDI·radio1/YOB其中，FWDI为投影物镜最小物方工作距，YOB为投影物镜的物方视场高度，radio1为物方视场高度与掩膜到第一反射镜M1距离的比例参数；步骤202、给定物方数值孔径NAO和物方主光线入射角度CA，设定radio2的搜索步长为ξr2，设定循环次数k＝1，radio2(1)＝0，radio2的下限值Dradio2＝0；步骤203、判断radio2(k)是否小于Uradio2，若是，则进入步骤204，否则进入步骤209；步骤204、根据所述‑d1和r1，根据光线追踪原理，计算出利用radio2(k)所设计的投影系统的CLEAPE2(k)和/或CA1(k)，其中CLEAPE2(k)表示第二反射镜M2与第一反射镜M1出射的光线不发生遮挡的空间，CA1(k)表示第一反射镜M1主光线入射角度；步骤205、对步骤204计算出参数的类型进行判断，当仅计算出CLEAPE2(k)时，则进入步骤206，当仅计算出CA1(k)时，则进入步骤207，当同时计算出CLEAPE2(k)和CA1(k)时，则进入步骤208；步骤206、判断CLEAPE2(k)＞0是否成立，若是，则将此时radio2(k)确定为radio2的下限值Dradio2，即令Dradio2＝radio2(k)，进入步骤209，否则令k＝k+1，令radio2(k)＝radio2(k‑1)+ξr2，返回步骤203；步骤207、判断CA1(k)＜MAXCA1是否成立，若是，则将此时radio2(k)确定为radio2的下限值Dradio2，即令Dradio2＝radio2(k)，进入步骤209，其中MAXCA1为事先给定的第一反射镜最大主光线入射角，否则令k＝k+1，令radio2(k)＝radio2(k‑1)+ξr2，返回步骤203；步骤208、判断CA1(k)＜MAXCA与CLEAPE2(k)＞0是否皆成立，若是，则将此时的radio2(k)确定为radio2的下限值Dradio2，即令Dradio2＝radio2(k)，进入步骤209，否则令k＝k+1，令radio2(k)＝radio2(k‑1)+ξr2，返回步骤203；步骤209、判断Dradio2＝0是否成立，若是，则判定所给定的投影物镜的光学系统参数不合理，不存在第二反射镜M2到第一反射镜M1距离与掩膜到第一反射镜M1距离的比例参数radio2，并结束，若否，输出Dradio2并进入步骤104；步骤104、根据所述第二反射镜M2到第一反射镜M1的距离‑d1，计算第二反射镜M2的半径为r2；步骤105、计算出第五反射镜M5到第六反射镜M6之间的间距为d5，以及根据所述d5获取第五反射镜M5的半径r5和第六反射镜M6的半径r6；步骤106、选取第三反射镜M3的半径r3，根据物象共轭关系、放大倍率关系、匹兹万和条件以及光瞳共轭关系，并利用上述确定的第一反射镜M1、第二反射镜M2、第五反射镜M5以及第六反射镜M6的半径以及相互之间的距离， 利用近轴迭代算法获取第四反射镜M4的半径r4、第三反射镜M3与第四反射镜M4的间距d3、第三反射镜M3与第二反射镜之间的距离d2、以及第四反射镜M4的像距l′4。步骤107、根据上述步骤计算的6枚反射镜的半径以及相应的位置关系，得到极紫外光刻投影物镜。 |
