发明名称 | 一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统 | ||
摘要 | 一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统。该系统由集成光子芯片和测量探头两个主要部分组成,光子芯片由基于纳米线阵列的可调谐激光器、集成波导型光隔离器、基于表面等离子体的光耦合器和光探测器集成产生,而测量探头由准直透镜、光栅、物镜和参考镜组合而成。光子芯片和测量探头通过光纤连接。测量系统将具有尺寸小、结构紧凑、集成度高、整体性和灵活性良好等特点,对于实现纳米表面形貌在线测量具有很大的优势。 | ||
申请公布号 | CN102679906A | 申请公布日期 | 2012.09.19 |
申请号 | CN201210167843.1 | 申请日期 | 2012.05.28 |
申请人 | 西安交通大学 | 发明人 | 杨树明;胡庆杰;韩枫;李磊;张坤;蒋庄德 |
分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人 | 徐文权 |
主权项 | 一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统,其特征在于:主要包括集成光子芯片和测量探头;集成光子芯片上集成了基于纳米线阵列的可调谐激光器(1)、集成波导型光隔离器(2)、基于表面等离子体光耦合器(3)和光探测器(4);测量探头由准直透镜(8)、光栅(9)、物镜(10)和参考镜(11)组成;激光器(1)发出的光经过光隔离器(2)和光耦合器(3)后从光子芯片输出,经过准直透镜(8)后平行入射到光栅(9)上并发生衍射,然后分别入射到参考镜(11)和经由物镜(10)入射到被测物体表面上;两束光分别由参考镜(11)和被测物体(12)表面反射后在光栅(9)处发生干涉,通过准直透镜(8)再次进入光子芯片,经过耦合器(3)回到探测器(4),探测器(4)把光信号转换成电信号并输出,通过控制单元(6)控制激光器(1)和探测器(4),并通过数据采集单元(5)对输出信号进行采集并输入计算机(7)进行处理得到被测物体表面形貌信息。 | ||
地址 | 710049 陕西省西安市咸宁西路28号 |