发明名称 |
一种N型双面背接触太阳能电池的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种N型双面背接触太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:(1)在N型硅片的正面和背面进行制绒;(2)在硅片的背面进行扩磷,形成扩磷层;(3)在硅片上开孔;(4)对硅片的正面和孔内进行扩硼,形成扩硼层;(5)刻蚀周边结;去除硅片的杂质玻璃;(6)在硅片背面的孔的周围区域进行反型掺杂,形成反型掺杂层;(7)在硅片的正面和背面设置钝化减反射膜;(8)在孔内设置孔金属电极;双面印刷金属电极,烧结;(9)在硅片背面设置隔断槽,使所述扩磷层和反型掺杂层处形成的PN结相互绝缘;即可得到N型双面背接触太阳能电池。本发明开发了一种N型双面背接触太阳能电池的制备方法,其制备工艺简单,易于操作,适于产业化应用。 |
申请公布号 |
CN102683496A |
申请公布日期 |
2012.09.19 |
申请号 |
CN201210166783.1 |
申请日期 |
2012.05.27 |
申请人 |
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯(中国)投资有限公司 |
发明人 |
王栩生;章灵军 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
陶海锋;陆金星 |
主权项 |
一种N型双面背接触太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1) 在N型硅片的正面和背面进行制绒;(2) 在硅片的背面进行扩磷,形成扩磷层;(3) 在硅片上开孔;(4) 在硅片的正面和孔内进行扩硼,形成扩硼层;(5) 刻蚀周边结;去除硅片的杂质玻璃;(6) 在硅片背面的孔的周围区域进行反型掺杂,形成反型掺杂层;(7) 在硅片的正面和背面设置钝化减反射膜;(8) 在孔内设置孔金属电极;双面印刷金属电极,烧结;(9) 在硅片背面设置隔断槽,使所述扩磷层和反型掺杂层处形成的PN结相互绝缘;即可得到N型双面背接触太阳能电池。 |
地址 |
215129 江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号 |