| 发明名称 | 狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以产生热变形。狭缝电极(1)包括：电极框体(2)，具有开口部(3)；以及多个电极单元(U)，能装拆地安装在电极框体(2)上。各电极单元(U)包括：多根电极棒(5)，并列设置在开口部(3)内；以及一组电极棒支承构件(6)，隔着开口部(3)支承各电极棒(5)的长度方向的端部。 | ||
| 申请公布号 | CN102683144A | 申请公布日期 | 2012.09.19 |
| 申请号 | CN201110306371.9 | 申请日期 | 2011.10.11 |
| 申请人 | 日新离子机器株式会社 | 发明人 | 井内裕;土肥正二郎 |
| 分类号 | H01J37/04(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;H01J37/08(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 李雪春;武玉琴 |
| 主权项 | 一种狭缝电极，包括：电极框体，具有开口部；以及多个电极单元，能装拆地安装在所述电极框体上，所述狭缝电极的特征在于，各电极单元包括：多根电极棒，并列设置在所述开口部内；以及一组电极棒支承构件，隔着所述开口部支承各电极棒的长度方向的端部。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||