角速度传感器

摘要

本发明提供一种角速度传感器，其具备传感器元件，该传感器元件具有振动体、感测电极、驱动电极、监视电极。监视电极产生与振动体的振动相应的信号。感测电路基于从感测电极输出的信号，输出表示振动体被施加的角速度的信号。振幅判定电路测量振动体的振动的振幅。PLL电路包括：产生定电压的定电压输出器、切换与监视信号相应的电压和定电压从而择一地输出电压的定时切换部、输出具有与从定时切换部输出的电压相应的频率的振荡信号的电压控制振荡器。在由振幅判定电路测得的振幅为规定值以下的情况下，定时切换部将定电压输出器输出的定电压输出至电压控制振荡器，并且输出启动模式信号。该角速度传感器具有稳定的输出特性。

主权项

一种角速度传感器，其具备：振动体；感测电极，其设置于所述振动体，根据施加于所述振动体的角速度而产生信号；驱动电极，其设置于所述振动体，被输入使所述振动体振动的驱动信号；监视电极，其设置于所述振动体，产生与所述振动体的振动相应的信号；PLL电路，其包括产生定电压的定电压输出器、切换与所述监视信号相应的电压和所述定电压从而择一地输出电压的定时切换部、以及输出具有与从所述定时切换部输出的所述电压相应的频率的振荡信号的电压控制振荡器；驱动器电路，其基于所述电压控制振荡器输出的所述振荡信号将所述驱动信号输入至所述驱动电极，使得所述振动体以规定的振幅进行振动；感测电路，其基于从所述感测电极输出的所述信号，输出表示所述角速度的信号；和振幅判定电路，其根据从所述驱动器电路输出的信号测量所述振动体的振动的振幅，在由所述振幅判定电路测量出的所述振幅为规定值以下的情况下，所述定时切换部将所述定电压输出器输出的所述定电压输出至所述电压控制振荡器，并且输出启动模式信号。