三维色阶比对动态分析方法

摘要

本发明提供一种三维色阶比对动态分析方法，该方法包括：接收多个量测对象及一个标准对象；将每个量测对象三角网格化；将每个三角网格化后的量测对象分别与标准对象对齐；在量测对象与标准对象对齐后，将该量测对象与标准对象进行比较，以生成量测对象中每个点的偏差值；根据上述偏差值生成至少一种分析报告；及输出生成的分析报告。利用本发明可以对一种工件在不同时间、不同工段制造出来的产品进行动态分析。

主权项

一种三维色阶比对动态分析方法，应用于数据处理设备中，其特征在于，该方法包括：接收步骤：接收一个或多个量测对象及一个标准对象；三角网格化步骤：将每个量测对象三角网格化；对齐步骤：将每个三角网格化后的量测对象分别与标准对象对齐；比较步骤：在量测对象与标准对象对齐后，将该量测对象与标准对象进行比较，以生成量测对象中每个点的偏差值，包括如下子步骤：将标准对象三角网格化；设定不同偏差带及每个偏差带对应的颜色值；计算量测对象中每一点到与其最近的标准对象中的三角形的距离，以得到量测对象中每一点的偏差值；根据上述设定的偏差带，利用相应颜色标示标准对象中的每一个三角形；获取量测对象上的每一个点；获取该每个一点的偏差值及颜色信息；及创建指引线标示该每个点的偏差值及颜色信息；生成分析报告步骤：根据上述偏差值生成至少一种分析报告；及输出步骤：输出生成的分析报告。