基板搬运机器人及基板测试搬运系统

摘要

本实用新型实施例提供一种基板测试载台、基板搬送机器人及基板测试搬运系统，涉及液晶面板制造领域。在载台底面为一整体的前提下，能够快速取放基板。基板测试载台的台面上设有多个气孔，气孔与载台吹气吸气装置连接；基板测试载台上设有基板移动部；至少一个传感器，设置在基板测试载台的入口处；载台控制装置，与传感器、载台吹气吸气装置以及基板移动部连接；基板搬送机器人，包括机器人本体，以及位于机器人本体上的手臂，还包括：手臂上设置有可沿手臂长度方向移动的吸附模块；驱动装置，与吸附模块连接；手臂控制装置，与吸附模块和驱动装置连接。本实用新型实施例用于基板搬送与液晶面板制造领域的一些测试。

主权项

一种基板搬送机器人，包括机器人本体，以及位于所述机器人本体上的手臂，其特征在于，包括：所述手臂上设置有可沿所述手臂长度方向移动的吸附模块；驱动装置，与所述吸附模块连接；手臂控制装置，与所述吸附模块和所述驱动装置连接。