一种精密轴系圆光栅光学分度方法

摘要

本发明是一种精密轴系圆光栅光学分度方法，以精密回转轴组合圆光栅的结构形式取代传统的光学分度头，以圆光栅的非接触式光学系统而非传统的机械微动装置实现精密轴系回转的微小角度分度计量，不需要影响分度精度的传动机构以及进行光学角度细分放大的光路系统。圆光栅的莫尔条纹信号接近正弦，适合于电路处理，测量角度位移的莫尔条纹可用光电转换以数字形式显示并进行计算处理，精密轴系由电动机驱动，整个系统实现了自动分度和程序控制。该系统可起到精密轴系主轴回转角度的精密光学分度作用，并用于对光电传感器进行小角度切线运动及精度测试与标定。克服了以往光学分度系统的不足，结构紧凑，调节方便灵活，对工作环境要求较低，且成本较低。

主权项

一种精密轴系圆光栅光学分度方法，其特征在于：该方法基于一种精密轴系圆光栅光学分度系统，该分度系统由驱动电机、联轴节、圆光栅机构、锁紧机构、精密轴系、箱体、光电传感器座、气浮轴、微调机构及平板组成，气浮轴支撑的模拟转子极轴的位移量等于光电传感器的小角度切线位移，驱动电机通过联轴节驱动精密轴系回转，圆光栅进行该回转角的微小角度分度并给出光电传感器的小角度切线位移值以模拟静电陀螺仪相对于当地水平面的表观运动角度。