一种单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉，该单晶炉包括：炉体；坩埚杆，所述坩埚杆通过设置在炉体底部的开口贯穿所述炉体的底部，所述坩埚杆的下端与炉体底部下方的坩埚基座连接固定；设置在所述炉体的底部与坩埚基座之间的波纹管，所述波纹管上端与炉体底部的开口连接，下端与所述坩埚基座连接；设置在所述波纹管底部的防护托盘；其中，所述坩埚杆在炉体底部下方的部分处于所述波纹管内；所述波纹管通过设置在防护托盘底面的通孔与所述坩埚基座连接固定；防护托盘侧壁与波纹管管壁之间具有缝隙。当高温硅液烫坏波纹管时，溢流硅液会在所述防护托盘内积聚，从而能够防止硅液对波纹管下方的控制线路和水冷电缆等部件造成损坏，保证了生产的安全性。

主权项

一种单晶炉，其特征在于，包括：炉体；坩埚杆，所述坩埚杆通过设置在所述炉体底部中央的开口贯穿所述炉体的底部，所述坩埚杆的下端与炉体底部下方的坩埚基座连接固定；设置在所述炉体的底部与所述坩埚基座之间的波纹管，所述波纹管上端与所述炉体底部中央的开口连接，下端与所述坩埚基座连接；设置在所述波纹管底部的防护托盘；其中，所述坩埚杆在炉体底部下方的部分处于所述波纹管内；所述波纹管通过设置在防护托盘底面的通孔与所述坩埚基座连接固定；防护托盘的侧壁与波纹管管壁之间具有缝隙。