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发明名称 METHODS OF FORMING DEUTERATED SILICON OXYNITRIDE-CONTAINING MATERIALS
摘要
申请公布号 EP1652223(B1) 申请公布日期 2012.09.19
申请号 EP20040777378 申请日期 2004.06.30
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 WEIMER, RONALD, A.;BREINER, LYLE, D.
分类号 H01L21/314;C23C16/30;C23C16/34;H01L21/28;H01L21/30;H01L21/318;H01L21/336;H01L21/8242;H01L21/8244;H01L29/51 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
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