微纳仪器装备中模板快速逼近和原位检测装置及方法

摘要

本发明涉及一种微纳仪器装备中模板快速逼近和原位检测装置，包括：固定机架、宏动平台、微动平台、微力检测装置、加工槽、视觉系统和控制系统，宏动平台连接至固定机架，微动平台与宏动平台连接，微力检测装置与微动平台连接，检测模板和基底之间的接触力；加工槽设置在固定机架底部框架上，基底设置在加工槽内，模板与微动平台连接；视觉系统设置在加工槽侧面，实时检测模板和基底之间的距离，控制系统分别与宏动平台、微动平台、微力检测装置和视觉系统连接，根据视觉系统和微力检测装置检测到的模板与基底之间间距及接触力控制宏动平台和微动平台运动。本发明具有加工精度高、自动化程度高且适用范围广泛的优点。

主权项

一种微纳仪器装备中模板快速逼近和原位检测装置，用以模板的高精度快速定位和模板‑基底间隙高精度的控制，其特征在于，包括：固定机架、宏动平台、微动平台、微力检测装置、加工槽、视觉系统和控制系统，所述宏动平台连接至所述固定机架，所述微动平台与所述宏动平台连接，所述微力检测装置与所述微动平台连接，用以检测模板和基底之间的接触力；所述加工槽设置在所述固定机架底部框架上，基底设置在加工槽内，模板与所述微动平台连接；所述视觉系统设置在所述加工槽侧面，用以实时检测模板和基底之间的距离，所述控制系统分别与所述宏动平台、微动平台、微力检测装置和视觉系统连接，用以根据所述视觉系统和微力检测装置检测到的模板与基底之间间距及接触力控制所述宏动平台和微动平台运动。