| 发明名称 | 腔体压力调节方法及腔体压力调节装置 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种腔体压力调节方法，包括：设定目标值，根据所述目标值，计算所述目标值的预设粗调范围；打开节流阀角度至固定角度，使腔体压力从初始值调节至所述预设粗调范围；根据腔体压力的实时变化，在所述固定角度基础上实时调节角度；腔体压力调节至目标值，关闭节流阀。本发明还提出一种腔体压力调节装置。 | ||
| 申请公布号 | CN102677024A | 申请公布日期 | 2012.09.19 |
| 申请号 | CN201210169498.5 | 申请日期 | 2012.05.28 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 金懿;徐伯山;沈剑平 |
| 分类号 | C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 陆花 |
| 主权项 | 一种腔体压力调节方法，其特征在于，包括：设定目标值，根据所述目标值，计算所述目标值的预设粗调范围；打开节流阀角度至固定角度，使腔体压力从初始值调节至所述预设粗调范围；根据腔体压力的实时变化，在所述固定角度基础上实时调节角度，使腔体压力调节至目标值；关闭节流阀。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号 | ||