描画数据修正装置及描画装置

摘要

提供一种扫描数据修正装置及描画装置。在扫描数据修正装置中，修正方法选择部根据所接收的修正信息对多个数据修正部进行选择使用，来对描画数据进行修正。描画装置基于修正后的该描画数据(DD)，对基板进行描画。这样一来，根据要制造的基板来选择修正方法，由此，能够以与后续工序或用途等事宜方式相适合的方式来修正描画数据。

主权项

一种描画数据修正装置，基于基板的定位标记的位置信息，对用于在基板上进行描画的图像数据进行修正，该描画数据修正装置的特征在于，具有：图像数据输入接收部，其接收所输入的用于在描画基板上进行描画的图像数据，定位标记位置输入部，其输入基板的定位标记的位置信息，多个数据修正部，这些各数据修正部基于被输入的定位标记的位置信息，利用各不相同的算法来修正描画数据，修正方法选择部，其对所述多个数据修正部进行选择使用，来对描画数据进行修正。