晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置

摘要

本发明公开了一种晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其包括水冷籽晶杆、连杆以及籽晶夹，所述水冷籽晶杆包括外管和套于外管内的内管，所述内管与外管之间形成水冷流道，且两者之间通过挡水板将水冷流道分割成底部连通的两个区域，配合该两个区域于所述外管上对应开设进、出水口，上法兰和底部法兰密封连接内管和外管的两端；中间法兰设置于外管上的进、出水口的下方，所述籽晶夹由引杆和夹头组成，所述引杆的一端连接夹头，另一端连接连杆，所述连杆穿入内管中与称重传感器连接。所述晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置不影响对籽晶的水冷保护效果，避免了冷却水振动、流量变化等外界因素对称重信号的干扰，对晶体重量信号进行准确、稳定测量。

主权项

一种晶体生长炉的水冷籽晶杆热交换装置，其包括水冷籽晶杆、连杆以及籽晶夹，其特征在于，所述水冷籽晶杆包括外管和套于外管内的内管，所述内管与外管之间形成水冷流道，且两者之间通过挡水板将水冷流道分割成底部连通的两个区域，配合该两个区域于所述外管上对应开设进、出水口，上法兰和底部法兰密封连接内管和外管的两端；中间法兰设置于外管上的进、出水口的下方，所述籽晶夹由引杆和夹头组成，所述引杆的一端连接夹头，另一端连接连杆，所述连杆穿入内管中与称重传感器连接。