压力传感器

摘要

本公开涉及包括压力传感器的传感器。在一些情况中，压力传感器可以包括隔膜(20)或膜片(20)，以桥(30)配置彼此连接并位于隔膜(20)上的多个传感元件，以及与桥(30)配置的输出耦合并具有输出的放大器(14)，其中膜片(20)，传感元件和放大器(14)可以形成在单个衬底(18)上，或与衬底集成形成，或两者。在一个例子中，压力传感器可以感测施加至传感器的特定范围的压力，和/或可以包括用于放大桥(30)的输出的、具有可选择增益的放大器(14)。

主权项

一种压力传感器，包括：隔膜(20)，具有小于4.0mV/V/1”H2O的灵敏度；连接成桥(30)配置以形成Wheatstone桥(30)的、隔膜(20)上的两个或更多个传感元件，其中Wheatstone桥(30)具有输出；以及具有耦合至Wheatstone桥(30)的输出的输入的放大器(14)，所述放大器(14)也具有输出，其中所述放大器(14)的输出具有大于所述灵敏度的两倍的跨度(mV/V/1”H2O)。