发明名称 |
基于双旋转微镜的光学扫描探针 |
摘要 |
一种基于双旋转微镜的光学扫描探针,它包括双旋转微镜,微光学系统和硅光学平台,其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连;微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤;硅光学平台用于校准和固定微光学系统,并为双旋转微镜提供电气连接;经过微光学系统传输和聚焦的入射光束经双旋转微镜偏转90度后垂直入射到成像目标,由成像目标反射回来的光束经双旋转微镜偏转90度后由微光学系统收集并传输到外部光学成像系统。 |
申请公布号 |
CN102670179A |
申请公布日期 |
2012.09.19 |
申请号 |
CN201210167500.5 |
申请日期 |
2012.05.28 |
申请人 |
凝辉(天津)科技有限责任公司 |
发明人 |
徐英舜 |
分类号 |
A61B5/00(2006.01)I |
主分类号 |
A61B5/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种基于双旋转微镜的光学扫描探针,其特征在于:包括双旋转微镜,微光学系统和硅光学平台,其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片;微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连;每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器,环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连,每个平面弹簧与1个微驱动器相连;微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤;硅光学平台用于校准和固定微光学系统,并为双旋转微镜提供电气连接。 |
地址 |
300384 天津市高新区华苑产业园区华天道2号火炬大厦辅楼235室 |