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发明名称 INTERFEROMETRIC POSITION ENCODER EMPLOYING SPATIAL FILTERING OF DIFFRACTION ORDERS
摘要
申请公布号 KR101184167(B1) 申请公布日期 2012.09.18
申请号 KR20097007212 申请日期 2007.08.08
申请人 发明人
分类号 G01D5/26;G01B11/02;G01B11/25;G02B5/18 主分类号 G01D5/26
代理机构 代理人
主权项
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