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发明名称 METHODS TO OBTAIN LOW K DIELECTRIC BARRIER WITH SUPERIOR ETCH RESISTIVITY
摘要
申请公布号 KR101183641(B1) 申请公布日期 2012.09.17
申请号 KR20080099233 申请日期 2008.10.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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